真空炉的各项技术指标与其他热处理设备有相似之处，但因其炉膛内必须能承受负压的作用，并能保持加热零件的无氧化、脱碳，由于其特殊的结构和加热的特点，因此有些技术要求相对于比较严格，具体的主要技术参数归纳如下。

    a．额定功率(kW)和电压(V)。

    b．电极相数。

    c．炉膛的有效加热区尺寸(mm)。

    d．额定工作温度(℃)。

    e．炉温的均匀性(℃)。

    f．最大装炉量(kg)。

    g．极限真空度(Pa)。

    h．工作真空度(Pa)。

    i．压升率（Pa/min或Pa/h）。

    j．空炉抽空时间(min)。

    k．空炉升温时间(min)。

    1．工件转移时间(min)。

    m．气体的消耗量（m³/炉）。

    n．冷却水的消耗量(m³/h)。

    o．外形结构尺寸(m)。

    p．炉体总重(kg)。

    在上述技术参数中，最重要的有极限真空度、工作真空度和压升率，它们是整个真空炉的关键特性，是衡量设备技术水平的硬指标，如果达不到则根本无法实现真空热处理的目的。因此它们既是设计的要求，更是验收过程中必不可省的指标，而压升率是指真空炉达到极限真空度后关闭所有的阀，在单位时间内炉内压力的上升情况，这是检验真空炉气密性的数据。通常极限真空度小于1.33×10^-2Pa，而工作真空度在1.33～13.3 Pa，压升率不大于0.67 Pa/h。